机译:通过进动电子衍射在具有两个纳米空间分辨率的finFET晶体管中进行高精度形变映射
University Grenoble Alpes, F-38000 Grenoble, France and CEA, LETl, MINATEC Campus, F-38054 Grenoble, France;
University Grenoble Alpes, F-38000 Grenoble, France and CEA, LETl, MINATEC Campus, F-38054 Grenoble, France;
University Grenoble Alpes, F-38000 Grenoble, France and CEA, INAC, MINATEC Campus, F-38054 Grenoble, France;
IBM Microelectronics, 2070 Route 52, Hopewell Junction, New York 12533, USA;
IBM Microelectronics, 2070 Route 52, Hopewell Junction, New York 12533, USA;
IBM Microelectronics, 2070 Route 52, Hopewell Junction, New York 12533, USA;
IBM Research, 257 Fuller Road, Albany, New York 12203, USA;
IBM Research, 257 Fuller Road, Albany, New York 12203, USA;
机译:结合2 nm空间分辨率和0.02%精度通过进动电子衍射在透射电子显微镜中对半导体样品进行形变映射
机译:高分辨率扫描进出电子衍射:对准和空间分辨率
机译:TEM中自动晶体取向和相位映射的微观结构特征:在TEM中的应用在γ-Tial基合金的热变形中的应用
机译:离轴电子全息和进动电子衍射在纳米尺度分辨率的透射电子显微镜中半导体器件的场图
机译:用剂量控制电子全息术和纳米材料的物理性质和结构映射映射
机译:通过进动电子衍射在具有两个纳米空间分辨率的finFET晶体管中进行高精度形变映射
机译:通过暗全全息,纳米辐射,几何相分析和预防电子衍射变形映射。不同技术的比较