机译:MEMS应用中某些感应和驱动机构的设计和建模
Mechanical Engineering Department, Ferdowsi University of Mashhad, Mashhad, Iran;
sensing; actuating; bimetal; mems; capacitance;
机译:基于MEMS的传感器装置的致动和传感机制述评
机译:热激励和压阻感测CMOS-MEMS谐振传感器的优化设计
机译:具有电热驱动和压电感应功能的可广泛调谐的MEMS环形谐振器,适用于滤波应用
机译:用于气体传感应用的热激励MEMS谐振器的建模和仿真
机译:使用压电致动器的两阶段致动机构的建模,设计,测试和控制,用于汽车应用。
机译:具有生物医学应用的旋转静电梳状驱动器的新型MEMS微型夹具的设计
机译:基于MEMS的传感器装置的致动和传感机制述评