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机译:通过表面活化键合(SAB)方法通过超细铜电极实现无凸点互连
Bumpless interconnect; Chemical mechanical polishing (CMP); Surface-activated bonding (SAB) method;
机译:通过表面活化键合(SAB)方法实现超细铜电极的无凸点互连
机译:室温下6-μμm间距铜电极的无扰互连
机译:室温下6微米微米间距铜电极的无扰互连
机译:使用表面活化键合(SAB)技术进行3D集成的铜/电介质混合键合
机译:用于高级ULSI应用的Al(Cu)和Cu互连中的热应力和微观结构。
机译:晶圆级Cu-Cu热压键合的表面预处理方法研究
机译:用表面活性键合(SAB)法接触CMP-Cu薄膜室温直接粘合真空条件的影响
机译:焊接太阳能电池互连的电极形状评估和无损评估方法