interference lithography; microarray structures; Cassie–Baxter wetting; superhydrophobic; optical diffraction; grating; cell patterning; protein patterning;
机译:垂直排列的锥形锥形的制造和现场 - 排放性能通过纳米光刻标记和无电催化蚀刻制备的垂直对准锥形[110] Si纳米线阵列
机译:一种简单有效的制造各种3D微观结构的方法:背面3D扩散器光刻
机译:使用“批量光刻”技术制造可变深度的3D微结构
机译:3D激光光刻技术与聚对二甲苯涂层相结合,可快速制造3D微观结构
机译:通过全息光刻和图案转换设计和制造光子微结构。
机译:基于深X射线光刻技术的高纵横比锥形微柱的制备
机译:使用双曝光光刻(Del)制备锥形3D微结构阵列