microwave plasma; gap-fill process; selective Si growth;
机译:使用微波等离子体增强CVD的定向单壁碳纳米管薄膜的区域选择性生长
机译:微波等离子体增强CVD在无催化剂的条件下低温生长碳纳米纤维
机译:从超细晶金刚石到热丝和微波等离子体增强CVD反应器中单晶金刚石的生长:生长速率和晶粒尺寸的统一模型
机译:低电阻和选择性硅生长作为自对准接触孔填充剂及其在1M M位静态RAM中的应用
机译:通过微波等离子体增强化学气相沉积(MPECVD)合成和表征金刚石薄膜。
机译:通过快速低温微波等离子体增强化学气相沉积合成的氮掺杂石墨烯双层的表征
机译:使用等离子体增强的线性天线微波CVD系统制备的纳米胺层的生长和表征