silicon epitaxy; PECVD; B–H complexes;
机译:退火对PECVD法制备掺硼氢化纳米晶硅薄膜微结构和压阻性能的影响
机译:衰老和热退火对PECVD生长氢化非晶碳氮化膜的振动和微观结构性能的影响
机译:PECVD生长的富硅氮化硅薄膜中嵌入的硅纳米晶体光致发光特性的退火温度依赖性
机译:通过HWCVD,RF PECVD和VHF PECVD沉积的氢化非晶硅层的晶体硅表面钝化:热退火对少数群体寿命的影响
机译:晶体硅的基于钝化生长的天然氧化物的钝化:一种用于硅光伏的低温合成的新方法。
机译:低温生长的氢化非晶硅氧氮化硅膜的水蒸气降解作用
机译:用VHF-PECVD制备p型氢化纳米晶碳化硅/ n型晶硅异质结太阳能电池。