cantilever sensor co-resonant coupling effective sensor properties sensor sensitivity;
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机译:新型共谐振悬臂传感器的有效传感器特性
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机译:基于微倾斜板和微悬臂的共振质量传感器的灵敏度提高。
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机译:开发用于焦平面阵列红外传感器系统的超低噪声,高灵敏度平面金属光栅耦合III-V多量子阱红外探测器