ethanol sensor tin dioxide film heater CMOS-MEMS;
机译:使用CMOS-MEMS技术制造的带读出电路的乙醇微传感器
机译:使用CMOS-MEMS技术制造集成有读出电路的聚苯胺纳米纤维氨传感器
机译:集成有使用0.18μmCMOS工艺制造的读出电路的二氧化锆氨微传感器
机译:基本的读出电路应用于基于FGMOS的CMOS-MEMS惯性传感原型
机译:集成电路制造中光刻的子空间技术。
机译:使用CMOS-MEMS技术制造集成有读出电路的聚苯胺纳米纤维氨传感器
机译:采用CmOs-mEms技术制造读出电路的乙醇微传感器
机译:制造方法和技术工程(mm&TE)计划用于建立晶体振荡器用高密度厚膜电路的生产技术。第一卷