Micromechanical tunable resonators Low driving voltage CMOS-MEMS;
机译:具有低驱动电压的可调面内谐振器的制造与表征
机译:带有附加调谐电极的用于低压应用的音叉形压控谐振器的设计和制造
机译:低压低功耗分数阶并联可调谐振器
机译:基于微结构硅和液晶的法布里-珀罗可调谐振器的设计,制造和光学表征
机译:具有降低的驱动电压和具有共形抗反射表面的虹膜的可调微透镜的新颖设计
机译:平面共振纳米机电传感器:设计制造和表征挑战的综合研究
机译:低驱动电压可调谐面内谐振器的制作与表征
机译:用于制造低驱动电压电光调制器的聚酰亚胺的合成和表征