microsensors acoustic modes piezoelectric materials;
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机译:护理和嵌入式应用中用于生化传感的MEMS谐振器的液相操作
机译:基于微机电系统(MEMS)的生物医学应用微流控设备
机译:用于液体传感应用的爱模mEms器件
机译:mEms器件的离子液体润滑:基于aFm的测试设备分析和评估(预印本)