W波段折叠波导行波管用硼掺杂金刚石衰减器的设计与性能研究

摘要

利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)设备制备了硼掺杂CVD金刚石,采用三维电磁仿真软件和飞秒激光加工系统优化设计并研制出用于W波段折叠波导行波管的硼掺杂CVD金刚石衰减器,采用矢量网络分析仪分别测试了硼掺杂CVD金刚石的介电性能和衰减器的驻波系数和传输系数.结果 表明硼掺杂CVD金刚石在W波段介电常数在7.49～8.43之间,损耗角正切≥0.26;硼掺杂CVD金刚石衰减器在85～110 GHz范围内驻波比小于1.10,S21＜-50 dB.