芯片级节流制冷器(MMR)的制造加工工艺研究进展及实验研究

摘要

芯片级节流制冷器(MMR)是一种采用独特的微加工工艺制成的微型节流制冷器,其结构微小,最小体积可达15 mm×2 mm×0.5 mm.MMR在制冷量需求较小的微型元件冷却领域有着广泛的应用.介绍了MMR制造工艺的发展历程,分析了MMR的不同材料的选择、刻蚀方法、制冷器片密封方法以及制冷器气路、电路连接方法的特点,对比了各个工艺方法的优势和不足,并初步进行了MMR的制造加工和性能实验,得到了能够在7 MPa下稳定工作的MMR样品,并实现了32.6 K的制冷温降.对MMR工艺技术的改进和未来发展提出了一些建议.