压阻式压力传感器的温度补偿及现场校准方法

摘要

针对硅压阻式压力传感器受到外界环境的影响,其灵敏度、分辨率、动态范围、工作直线等关键技术指标会发生改变。本文提出一种现场在线式校准方法,通过建立压力,温度误差数学模型和采用数字滤波及曲线拟合温度补偿技术,对传感器信号的误差进行补偿。使变送器在-20~80℃温度区间内,输出精度达到±0.1%FS。该校准方法和电路可规范化,工程应用背景广泛。