基于薄膜工艺的乙醇气体气敏膜的研究

王聪; 史铁林; 李晓平

首页> 中文期刊>传感器与微系统 >基于薄膜工艺的乙醇气体气敏膜的研究

基于薄膜工艺的乙醇气体气敏膜的研究

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

ZnO2,SnO2, Fe2O3等基底材料可以用来制作半导体型乙醇气体传感器中的气敏膜.在基底中掺杂Pt,TiO2等物质可以获得很高的气体检测灵敏度和很好的选择性.利用电子枪蒸发薄膜工艺来制作乙醇气体敏感膜,可以取得很好的效果.与通常使用的厚膜工艺相比,薄膜工艺与MEMS工艺兼容,更适合制作微小器件.

著录项

来源
《传感器与微系统》|2005年第5期|10-12|共3页
作者
王聪; 史铁林; 李晓平;
展开▼
作者单位

华中科技大学,机械科学与工程学院,湖北,武汉,430074;

华中科技大学,机械科学与工程学院,湖北,武汉,430074;

华中科技大学,机械科学与工程学院,湖北,武汉,430074;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类电气测量技术及仪器;
关键词
乙醇; 气敏膜; 电子枪;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. WO3气敏薄膜的膜厚对气体响应时间的影响 [J] . 尹英哲 ,胡明 ,冯有才 . 传感器与微系统 . 2007,第006期
2. 掺杂CNT的Fe2O3气体传感器对乙醇气敏特性的研究 [J] . 房家骅 ,谭秋林 ,方明 . 传感技术学报 . 2015,第008期
3. 掺入α-Mn_2O_3和Al_2O_3对改善半导体气敏元件抑制乙醇气体能力的研究 [J] . 张艳芝 . 传感器技术 . 1989,第5期
4. ZnO纳米薄膜材料对乙醇室温气敏性的研究 [J] . 沈振铎 ,胡金江 ,李振振 . 河北建筑工程学院学报 . 2018,第004期
5. 锡掺杂氧化锌薄膜乙醇气敏性的研究 [J] . 白翠彩 ,刘秀军 ,郭玉高 . 天津工业大学学报 . 2012,第001期
6. 薄膜气敏材料的性能和研制薄膜气敏元件的工艺探索 [C] . JIANG WeIbin ,姜维宾 ,CUI Yanhua . 第十五届中国湿度与水分学术交流会 . 2014
7. 基于二硫化钼纳米敏感膜的光纤硫化氢气体传感器及其气敏性能研究 [A] . 秦祥 . 2018

基于薄膜工艺的乙醇气体气敏膜的研究

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅