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静电刚度式谐振微加速度计设计

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摘要

:加速度计的固有频率为23.94 kHz,灵敏度约为20 Hz/gn,与理论设计值相近.

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来源
《传感器与微系统》 |2009年第6期|92-94,97|共4页
作者
周吴; 何晓平; 苏伟; 李柏林; 陈黎丽;
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作者单位

西南交通大学,机械工程学院,四川,成都,610031;

中国工程物理研究院,电子工程研究所,四川,绵阳,621900;

中国工程物理研究院,电子工程研究所,四川,绵阳,621900;

中国工程物理研究院,电子工程研究所,四川,绵阳,621900;

西南交通大学,机械工程学院,四川,成都,610031;

西南交通大学,机械工程学院,四川,成都,610031;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类电子光学仪器;
关键词
静电刚度; 谐振微加速度计; 灵敏度; 固有频率;

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