基于MEMS反射镜显示系统的激光束控制算法

摘要

本文对一种基于表面微加工技术反射镜的显示系统进行性能分析.显示系统由一个简单的两薄膜结构微镜所组成,该微镜采用表面微加工工艺,即多晶硅的多用途MEMS制造工艺.微镜具有四个静电排斥力驱动单元,微镜可通过该驱动单元进行平移运动,且可以围绕两个轴进行旋转运动.实测数据表明,查找表控制法和扫描速度控制法相结合的控制算法被证明是更为实用的,使更复杂的图像显示时不失真,且能有效利用系统内存,减少运算时间.