一种高频高压等离子体发生器

摘要

针对传统直流等离子体发生器电源效率不高、驱动管热损耗大等问题,设计了一个高效率低损耗的高频高压等离子体发生器.该系统通过移相全桥控制电路进行PWM方波控制,在功率晶体管驱动下,经高频谐振升压电路对输入信号升压,实现等离子体的稳定发生.实验结果表明,该系统与传统直流等离子体发生器相比电源效率提升了5.4％.