浅谈扩散工艺在半导体生产中的应用

摘要

扩散工艺是制作半导体的关键结构PN结的一种常用方法。本文在介绍了扩散的定义、扩散工艺在半导体生产过程中的作用原理和应用范围的基础上,从扩散工艺的工艺流程,扩散工艺在PN结形成中的作用以及扩散工艺的发展三个方面,探究了扩散工艺在半导体生产中的应用。