以高灵敏为特征的氧化钒非致冷红外探测器的应用

摘要

氧化钒非致冷红外探测器属于第三代红外探测器,它广泛应用于工业、农业、国防、医疗、交通等诸多领域,具有体积小、质量轻、功耗低、非致冷的优势,研究学者在多年来都致力于提升该非致冷红外探测器的灵敏度,并通过制备高电阻温度系数的氧化钒薄膜、掺氮氧化钒薄膜和黑金吸收层,提高非致冷红外探测器的性能.文章从氧化钒非致冷红外探测器的工作原理、构造、材料制备、器件性能和测试等方面进行探讨,并论述其发展前景.