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张伟;
中芯国际集成电路制造(天津)有限公司;
天津 300380;
MIM结构; 裂纹; 缺陷; DOE; 实验设计; 主成分分析;
机译:利用马哈拉诺比斯距离解决溅射过程中薄膜厚度均匀性质量问题
机译:采用液面自组织的方法在洁净的玻璃片表面铺设单层六方密排的聚苯乙烯胶体球阵列,通过改变等离子 刻蚀的时间实现对胶体小球的直径控制,结合离子溅射Au膜和磁控溅射MoO2膜,最终构筑成为一种新颖的MoO2/Au微纳阵列结构,利用扫描电镜对所合成材料进行形貌表征;同时重点利用接触角测量仪对 微纳阵列薄膜的浸润性进行研究,分析水在微纳阵列表面所形成的接触角的角度变化,结果显示沉积 MoO2/Au微纳阵列比相应的Au微纳阵列更加亲水,有利于材料在水溶液中进行电化学反应。
机译:ZnO薄膜溅射过程中陷阱密度的提取及其与ZnO薄膜溅射过程中氧分压的关系
机译:在批量喷涂工具中进行AlCu聚合物去除过程中,从晶圆背面产生缺陷的研究
机译:超级基金执行中的协作性争议解决:解决方法是否因社区级社会人口统计学特征而异? 。
机译:利用射频溅射技术开发的高响应性MgZnO紫外线薄膜光电晶体管
机译:alN薄膜沉积过程中al靶反应溅射条件的优化方法
机译:反应溅射锗硅酸盐玻璃薄膜的结构缺陷控制和光敏性
机译:解决用于铜工艺的AlCu焊盘形成过程中钝化表面粗糙度的方法
机译:用于防止Al和AlCu薄膜的干法腐蚀的金属布线用薄膜的形成方法
机译:的方法,该方法是利用阴极溅射与交流电叠加,通过阴极溅射将kohlenstoffschutz薄膜安装在磁盘上。
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