一种适用于TFT LCD开机Mura改善的TP定向补正研究

摘要

薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)由薄膜晶体管(Thin Film Transistor,TFT)和彩色滤光膜(Color Filter,CF)经过对盒工艺(Cell)制作而成.两类面板对盒过程中的相对偏移精度(Alighment Inspection,AI)是保障产品显示品质的重要指标,而AI由两类面板的曝光精度(Total Pitch,TP)共同决定.文章主要进行了CF TP与开机Mura不良的机理分析与改善研究.通过CF工艺制程对CF TP影响的深入分析和实验验证,设计得到了一种可定向补正的CF TP Design优化方法,可有效实现开机Mura不良的定点改善,不良率由9.17％降至0.10％以下.相对于传统补正方法,该方法具有定向性、快速性、准确性等优点,可推广运用于其他与CF TP对位精度有关的不良改善中.