FU+MAU+DCC系统在电子洁净厂房中的应用

摘要

在TFT面板的电子洁净厂房中,模组工艺制程的后工程仅需要温湿度要求.传统的空调形式组合空调AHU+净化新风MAU,需要的空调站房面积大,管道系统复杂,吊顶空间要求高,空调能耗高等特点给设计师带来巨大的挑战.为此创新了空调形式FU+MAU+DCC即风机送风单元+净化新风+干表冷系统.文章将结合已经投入生产的实际工程,阐述新系统的应用.以供洁净室设计师多个系统方案的选择.