PtSi肖特基势垒IRCCD焦面阵列的设计和性能

摘要

该文介绍高性能ＰｔＳｉ肖特基势垒探测器６４×１２８元红外ＣＣ焦面阵列。掩埋沟道ＣＣＤ成像器具有一个行间传输机构，它有２２％的有效探测面积和１２０×６０μｍ的像元尺寸。高性能薄型铂硅探测器的截止波长约６．０μｍ，而在３．０－４．５μｍ的光谱段有４．０－１．０％的量子效率。