红外吸收层膜系仿真与实验研究

摘要

重点采用Matlab软件进行氧化硅（SiO2）、氮化硅（Si3N4）材料仿真,在仿真的基础上,制备Si3N4、TiO2薄膜,并与仿真结果对比研究,发现红外吸收实测结果与仿真结果基本一致,从而一定程度上验证仿真结果的正确。