硅片切割中切斜问题分析

摘要

在硅片切割过程中,经常出现切斜的现象,大大影响硅片合格率。硅片切斜的原因多种多样,通过从钢线、导轮、砂浆等不同的方面进行切斜分析。在以后的生产中,从而可以更好地减少切斜问题的出现。