SiO2减反膜的制备及其改性性能研究

摘要

为了提高太阳能电池的光电转换效率,采用溶胶凝胶法制备二氧化硅(SiO2)减反射膜的溶胶.以正硅酸乙酯(TEOS)为前驱体,无水乙醇(TEOH)为溶剂,分别经过酸(浓HCl)碱(NH3 H2 O)催化,获得二氧化硅溶胶.分别以甲基三乙氧基硅烷(D-150)、十三氟辛基三乙氧基硅烷(F8261)两种硅烷处理液对酸、碱催化SiO2减反射膜进行疏水表面改性处理.对制膜进行透光率、铅笔硬度、附着力、水接触角等性能进行测试,并使用SEM观察薄膜的表面形貌.结果表明,酸催化的减反射膜粗糙度较低和透过率较高,硬度和抗划伤性能最优,碱催化减反射膜的粗糙度较高,透过率较低,硬度和抗划伤性能不足;疏水处理后,酸催化后的减反膜的水接触角由35°分别增加到110°(F8261)和90°(D-150),碱催化后的减反膜的水接触角由5°分别增加到75°(F8261)和85°(D-150),且透光率略微增加.