芯片制造中的化学反应

摘要

芯片普遍应用于计算机、手机、汽车、网络通信等几大核心领域,芯片的制造离不开晶片制备和化学微加工技术.介绍了芯片生产中晶片的制备、氧化、化学气相沉积、光刻蚀等过程中涉及的一些化学反应.