热处理对Al/Al2O3/BaTiO3薄膜电容器性能的影响

摘要

钛酸钡薄膜电容器以其能量密度高、性能可靠等优点而成为新能源领域的研究对象.本文以铝片作为电极材料,预煅烧过的钛酸钡为电介质材料.采用在空气中热处理的方法,使提拉过钛酸钡的铝电极表面生成一层热氧化膜,并且通过探讨一定的热处理制度,得到最佳的氧化铝层,提高介电性能.通过介电性能分析及等效电路模拟,得出铝表面生成了热氧化膜,升温速率10℃/min、保温时间120min是制备Al/Al2O3/BaTiO3电容器的最优条件,并且在0.5Hz下介电层介电常数达到3.84×104,介电损耗为0.2801,电容器的电容值达到2.92μF.