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XPS数据处理方法技巧

         

摘要

X射线光电子能谱仪(XPS)是表面分析中最主要的分析方 法,其中XPS数据分析和处理是广大科研工作者的难以攻克的难题.文中以实际数据为例,重点讲述通过XPS专业数据处理软件Avantage进行谱峰识别、元素及化学态谱峰重叠确认的处理方法和技巧.

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