有源矩阵液晶显示器的薄膜晶体管技术

摘要

全文描述了应用于有源矩阵液晶显示器领域的各种薄膜晶体管技术，本期主要介绍多晶硅薄膜晶体管技术，给出了其主要类型、工作原理及性能，以及生产制作中的关键性技术。