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使用超薄硅界面控制层钝化暴露在空气中的InGaAs表面的技术

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使用超薄硅界面控制层钝化暴露在空气中的ＩｎＧａＡｓ表面的技术ＰａｓｓｉｖａｔｉｏｎＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙＵｓｉｎｇａｎＵＬｔｒａｔｈｉｎＳｉＩｎｔｅｒｆａｃｅＣｏｎｔｒｏｌＬａｙｅｒｆｏｒＡｉｒ－ＥｘｐｏｓｅｄＩｎＧａＡｓＳｕｒｆａｃｅｓＨｉｄｅｋｉＨ...

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来源
《微纳电子技术》 |1995年第2期|51-54|共4页
作者
马振昌;
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作者单位

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正文语种 chi
中图分类表面处理;
关键词
硅; 界面控制层; 钝化; 空气; 铟; 镓; 砷; 表面;

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