高频延迟线型SAW器件仿真与设计

摘要

为分析电极高度比与孔径深度等工艺参数对声表面波器件性能的影响,利用有限元软件COMSOL,建立压电基片表面沉积均匀叉指换能器的二维模型,分析了电极高度比对声表面波器件特征频率的影响。通过建立不同孔径深度均匀叉指换能器的三维模型,分析了叉指换能器的孔径对于输出电压振幅的影响。仿真结果表明:特征频率的大小与叉指电极的高度比成反比,即电极高度比越低,特征频率就越高;输出电压振幅与孔径深度成反比,即孔径越大,振幅越小,且振幅小于等于给定输入电压。延迟线型SAW器件性能测试表明:带宽为0.577MHz,中心频率为204.2MHz,插损为-13.571dB,品质因数Q为354,符合制备器件的要求。