二次非球面镜参数求解模型及求解算法研究

摘要

零位补偿检测的结果常作为非球面元件加工过程中的标准.当零位补偿器可能存在问题时,能否保证非球面顶点曲率及二次曲面常数的精度是一个重要问题.基于二次曲面方程,建立了非球面顶点曲率半径R以及二次曲面常数k的求解模型并推导了基于奇异值分解SVD方法的求解算法.通过对一块孔径为1 229 mm的非球面反射镜进行模拟仿真计算,经过优化,该算法的求解精度可以达到△R＝0.1%,△k＝0.14%,从而实现对非球面镜零位补偿检测的有效补充.