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赵龙; 张斌珍; 段俊萍; 崔建利;
电子测试技术重点实验室(中北大学),太原030051;
微悬臂梁; 曝光剂量; SU-8; 交联反应; 紫外光刻;
机译:基于微硅的压电悬臂发电机的结构设计与仿真分析
机译:使用KMPR光刻胶的紫外光刻和超厚微金属结构的成型加工
机译:基于体微加工的非冷却Al / SiO_2微悬臂红外探测器的简单制造
机译:使用基于50nm厚AlN膜的微悬臂梁进行DMMP蒸气检测
机译:基于微倾斜板和微悬臂的共振质量传感器的灵敏度提高。
机译:SU-8厚光刻胶紫外光刻工艺的综合模拟
机译:基于二氧化硅的微悬臂梁,使用直接UV写入和微加工制造,用于化学和物理传感应用
机译:基于模型的微悬臂梁传感器阵列加工
机译:基于加工材料和紫外线固化方法的压敏胶
机译:轴厚加工,轴厚加工方法和轴厚加工装置的加工条件设定方法
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