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国内外集成电路制造业PFCs排放量计算方法的对比研究

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全氟化物(PFCs)是《京都议定书》确定的6种温室气体之一,大多数PFCs具有极高的全球暖化潜势值,在集成电路制造过程中会排放大量的PFCs.通过分析目前国内外集成电路制造行业PFCs排放量的计算方法,对比了其异同点及优劣性,可为我国企业提高其计算准确度提供借鉴,也为进一步改进计算方法提出了建议.

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来源
《安全与环境工程》 |2018年第3期|98-102|共5页
作者
杨杰雄; 杨庆宇; 李三良; 杨永刚;
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作者单位

中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,上海201203;

中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,上海201203;

中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,上海201203;

中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,上海201203;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类机械、仪表工业废物处理与综合利用;部门环境规划与管理;
关键词
全氟化物(PFCs); 集成电路制造业; 排放量; 计算方法对比;

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