POCl3流量与网版图形对单晶硅电池性能的影响

摘要

为减小高流量POCl3对硅片的损伤,对单晶硅扩散工艺进行了改进.在950 ml/min的基础上降低POCl3流量,并采用不同图形的正电极网版进行印刷匹配试验.采用常规生产设备进行生产得出,采用650ml/min的POCl3流量扩散和85根副栅线正电极网版印刷生产的单晶硅太阳能电池的转换效率达到18.63％,比改进工艺前生产的电池转换效率提高了0.35％.