泡生法蓝宝石长晶炉真空计污染失效的解决方法

摘要

本文通过对泡生法蓝宝石长晶炉中真空计的失效形式进行分析,找出了其失效根源为真空计内部附着着一层黑色污染物,降低了真空计电离能力从而失去真空检测精度,文中通过分析污染物的化学成分,找出污染物的来源,通过更换真空计的检测位置、改变设备的真空度及增加真空计防污染装置,从而解决了真空计的污染的问题.