离子束溅射技术制备PtRu纳米合金薄膜载体催化剂材料及其结构表征

摘要

采用离子束溅射技术,Pt和Ru双靶材通过制备工艺条件的设计,制备出含单质Pt、单质Ru及PtRu合金的纳米载体薄膜材料.采用X射线衍射、透射电镜、X射线光电子能谱等分析手段表征了薄膜材料的结构,验证了离子束溅射技术制备Pt合金薄膜的可操作性,并对Pt合金成膜规律进行了初步探索.