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方水泉;
无;
等离子体源; 可调谐微波; 空间等离子体; 模拟;
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机译:用于表面处理的大气压微波驱动等离子体源的基于微波的表征
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机译:用于宏观腔光机械的可调谐微波腔
机译:可调谐的微波超表面用于高性能操作:色散补偿和动态切换
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机译:用于中性束注入系统的微波等离子体源。季度技术进步报告。
机译:用于空间等离子体增强原子层沉积的微波等离子体源(PE-ALD)加工工具
机译:用于空间等离子体增强原子层沉积(PE-ALD)处理工具的微波等离子体源
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