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聚二甲基硅氧烷光栅薄膜制备及光栅常量测量

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利用模板技术复制光盘沟槽结构,制备了聚二甲基硅氧烷光栅薄膜,并采用激光光栅衍射方法测量了光盘及复制薄膜的光栅常量. 结果表明制备的聚二甲基硅氧烷薄膜光栅衍射现象显著,与光盘的光栅常量一致.

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来源
《物理实验》 |2010年第5期|5-7|共3页
作者
姜兰钰; 汪静; 周笑辉; 迟建卫; 曲冰; 潘超; 刘鑫;
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作者单位

大连海洋大学,理学院,辽宁,大连,116023;

大连海洋大学,理学院,辽宁,大连,116023;

大连海洋大学,理学院,辽宁,大连,116023;

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大连海洋大学,理学院,辽宁,大连,116023;

大连海洋大学,理学院,辽宁,大连,116023;

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正文语种 chi
中图分类干涉与衍射;
关键词
光盘; 沟槽结构; 聚二甲基硅氧烷; 模板技术; 光栅衍射;

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