激光化学气相淀积金刚石薄膜的气相反应过程研究

摘要

＜正＞ 1.研究内容在金刚石薄膜的化学气相淀积生长过程中,从材料气体的解离到膜的沉积,包括活性自由基的产生;自由基的反应,向基板的输送、吸附;在固体表面上的基板与自由基、光等的相互作用等基本过程。为了更好地理解薄膜的生长机理,进而控制膜的制作,实现薄膜的高品质化、使其达到实用的要求,必须充分研究其这些基本过程。主要内容是利用激光化学气相法生长金刚石薄膜,并研究其气相反应过程等。对于前者主要是用不同的材料气体和不同波长的激光进行金刚石薄膜的生长。金刚石薄膜的沉积是将激光束聚焦后,照射到反应室中的气体上,使材料气体激发、解离,产生含碳的活性自由