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高纯电子特气六氟丁二烯的纯化技术进展

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摘要

六氟丁二烯是一种新型的含氟电子气体,具有优异的蚀刻性能,且更加环保.简述了六氟丁二烯的物理性质、蚀刻特点和产品规范,详细介绍了国内外六氟丁二烯纯化技术的进展.

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来源
《有机氟工业》 |2020年第2期|25-2952|共6页
作者
李瑜哲; 张智勇; 艾波; 吴高胜; 许保云;
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作者单位

上海化工研究院有限公司上海200062;

上海三爱富新材料科技有限公司上海200241;

上海化工研究院有限公司上海200062;

上海化工研究院有限公司上海200062;

上海化工研究院有限公司上海200062;

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正文语种 chi
中图分类
关键词
六氟丁二烯; 蚀刻; 纯化; 性质; 进展;

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