变形反射镜薄膜应力与元件变形有限元研究

摘要

残余应力是变形反射镜面临的一个重要问题.考虑薄膜中残余应力的起源,利用有限元软件建立了变形反射镜有限元模型.基于所建立的有限元模型,计算变形镜各部分受薄膜残余应力作用后的变形与应力分布.与试验测量结果进行对比,计算结果表明,建立的模型是合理的,薄膜产生的残余应力为张应力,氟化物薄膜产生的张应力大于ZnS薄膜产生的压应力,残余应力主要集中在变形反射镜镜面上,基本呈放射状分布,外圈驱动器受到应力较大.