用锡盘抛光 α-Al_2O_3 单晶的初步实验研究

摘要

概述了抛光α－Ａｌ２Ｏ３单晶的意义、介绍了用锡盘抛光α－Ａｌ２Ｏ３单晶的实验装置、描述了抛光实验过程、研究了抛光时间和抛光液酸碱度对工件表面粗糙度的影响。通过改变抛光时间及抛光液ｐＨ值，可使α－Ａｌ２Ｏ３单晶工件表面粗糙度优于０．４ｎｍｒｍｓ。