动态目标发生器圆鼓图形光刻掩模板的研制

摘要

本文详细论述了动态目标发生器圆鼓图形光学刻划掩模板的设计思想及其制作过程，经试刻效果良好，为非球面光刻掩模板的制作开创了一条新途径。