软X射线接触式显微术抗蚀膜显影条件分析

摘要

按照生物样品条分辨单元具有多种透过率的特点，设计了一个多衬度的台阶状蛋质模型，模拟各台阶的真实尬旬条件，测量了各台阶所对应的抗蚀膜显影速率曲线，对显影条件作了定量分析，并将显影分析与分辨率紧密结合起来，找到了一种较好的定量确定显影条件的方法。