软X射线光学系统曲面镀膜膜厚测量方法

摘要

软X射线光学系统需要在超光滑曲面上均匀镀膜.我们将超光滑曲面看作由若干个小平面拼接而成,通过小角衍射仪测量出各个小平面的周期膜厚,并拟和出整个曲面的镀膜速率.为提高控制精度,我们对同一片多层膜进行等精度多次测量,去除其中的粗大误差、系统误差,最后得到多层膜厚度的最佳估计值.