微机械惯性传感器的技术现状及展望

摘要

对微机械惯性传感器-微加速度计和微陀螺的技术现状进行了评述.根据其不同的技术实现,诸如制造过程、工作原理、控制系统、接口技术等对其进行了分类描述.这些微传感器的用途很广,而且相对于其传统器件来说有低成本、小尺寸、低功耗等特点,正在全世界范围内被广泛研究.最后,对微机械传感器领域的一些新的进展进行了讨论,并提出了展望.