相位检测法定镜自适应校正技术

摘要

为保持傅里叶变换光谱仪在动镜运动和外界震动等恶劣条件下动镜和定镜间的准直性,采用了相位检测法检测准直性误差的定镜自适应校正技术.介绍了相位检测法的基本原理和实现自适应校正的途径以及自适应校正系统的基本结构.采用高速压电倾斜镜作为驱动补偿元件,分析了相位检测精度对校正精度的影响.实验结果表明,采用自适应校正后系统干涉效率明显提高.