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施云芬; 施云波; 刘月华; 冯侨华; 赵文杰; 雷廷平;
东北电力大学,化学工程学院,吉林,吉林,132012;
哈尔滨理工大学,测控技术与通信工程学院,黑龙江,哈尔滨,150080;
MEMS微结构; 气体传感器; SO2毒气检测;
机译:有毒气体对电容式MEMS氢传感器中PdCuSi金属玻璃的影响和修复
机译:基于多晶硅压阻仪PDMS(聚二甲基硅氧烷)基于MEMS力传感器的MEMS力传感器的设计分析
机译:低压MEMS气体传感器的CH4 / SO2气体混合物的质量分析
机译:基于悬臂MEMS的低功率微加热器阵列的热分析,可选择性检测爆炸性和有毒气体
机译:使用新型厚光刻技术的基于MEMS的磁性微结构和传感器。
机译:基于MEMS惯性传感器的步态分析通过多传感器融合进行康复评估
机译:基于旋转玻璃(SOG)的叠层耦合微线圈绝缘体,用于MEMS传感器和执行器应用
机译:使用基于二极管激光的传感器系统自动远程监控有毒气体
机译:MEMS两层浮式微结构制造方法及MEMS红外传感器
机译:MEMS气体传感器,MEMS气体传感器安装体,MEMS气体传感器封装,MEMS气体传感器组件以及MEMS气体传感器的制造方法
机译:叠层微结构型装置及叠层微结构配方单元的制造方法
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